矽行半导体
Suzhou Xihang Semiconductor Technology Co., Ltd.
矽行半导体是一家成立于2021年11月的国产半导体检测设备公司，专注于高端晶圆缺陷检测设备及零部件的研发、生产和销售，核心团队博硕比例超过80%，技术骨干均来自国内外知名半导体设备公司与晶圆代工厂。源码资本为其A轮领投方，张洵主导了该投资。
公司产品矩阵覆盖65nm至14nm全工艺节点：TB1000/TB1100面向65-180nm，TB1500面向55/40nm，TB2000面向28/14nm。2023年8月首台TB1000交付客户，打破国外厂商在明场缺陷检测设备的垄断；2024年7月发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500，核心部件全部自主可控；2025年3月推出TB2000，采用全自主研发的高功率宽光谱光源系统与AI图像处理算法，使矽行成为全球少数具备14nm及以下节点明场检测装备交付能力的厂商。TB1500已于2025年5月获得客户正式订单。
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矽行半导体公司
Suzhou Xihang Semiconductor Technology Co., Ltd.
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